发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH1154612(A) 申请公布日期 1999.02.26
申请号 JP19970204819 申请日期 1997.07.30
申请人 SONY CORP 发明人 KOYAMA KAZUHIDE;AOYAMA JUNICHI
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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