| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR INSPECTION SEMICONDUCTOR DEVICE, AND METHOD AND SYSTEM FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1154581(A) |
申请公布日期 |
1999.02.26 |
| 申请号 |
JP19970204746 |
申请日期 |
1997.07.30 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
ISHIZUKA YOSHIKI;KAWAHISA YASUTO |
| 分类号 |
G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/265;H01L21/66;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G02F1/136 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
