HIGH VOLTAGE COMPONENT AND METHOD FOR MAKING SAME

摘要

Es wird ein Hochspannungsbauelement bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines Hochspannungsbauelements vorgeschlagen, dass zum Schalten von Strömen bei grossen Spannungen dient. Das Bauelement umfasst auf einen selbsttragenden Halbleiterwafer (14) lateral angeordnete und in Reihe geschaltete Teilbauelemente (10), die beispielsweise ab einer gewissen zwischen einer ersten Brückenkathode (22) und einer Anodenmetallisierung (7) angelegten Spannung durchschalten. Mindestens ein Teilbauelement weist ein Gebiet auf, das sich von der Vorder- zur Rückseite des Halbleiterwafers erstreckt.