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发明名称 Verfahren zur chemischen Modifikation einer Oberfläche gemäss einem Muster
摘要
申请公布号 DE69319517(T2) 申请公布日期 1999.02.25
申请号 DE19936019517T 申请日期 1993.09.01
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL 发明人 WILLARD, NICOLAAS PETRUS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;CAMPS, IVO GODFRIED JOZEF, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 G03F7/26;G03F7/004;G03F7/075;G03F7/38;G03F7/40;H01J31/12;(IPC1-7):G03F7/38 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
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