发明名称 Waferträger
摘要
申请公布号 DE19816834(A1) 申请公布日期 1999.02.25
申请号 DE1998116834 申请日期 1998.04.16
申请人 FLUOROWARE, INC., CHASKA, MINN., US 发明人 BHATT, SANJIV M., MINNETONKA, MINN., US;EGGUM, SHAWN D., VICTORIA, MINN., US;OLSON, WAYNE C., EDEN PRAIRIE, MINN., US
分类号 B65D85/86;H01L21/673;(IPC1-7):B65D85/86;B65D85/30;B65G47/90;H05K13/02;H01L21/68 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
主权项
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