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发明名称 Verfahren zum Kristallzüchten
摘要
申请公布号 DE4319788(C2) 申请公布日期 1999.02.25
申请号 DE19934319788 申请日期 1993.06.15
申请人 SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 FUJIWARA, TOSHIYUKI, OSAKA, JP;KOBAYASHI, SUMIO, OSAKA, JP;MIYAHARA, SHUNJI, OSAKA, JP;KUBO, TAKAYUKI, OSAKA, JP;FUJIWARA, HIDEKI, OSAKA, JP;INAMI, SHUICHI, OSAKA, JP;OKUI, MASAHIKO, OSAKA, JP
分类号 C30B15/04;C30B15/20;C30B15/30;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/20;C30B29/06 主分类号 C30B15/04
代理机构 代理人
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