发明名称 Apparatus and method for supplying material to a substrate
摘要
申请公布号 AU702529(B2) 申请公布日期 1999.02.25
申请号 AU19960064648 申请日期 1996.07.11
申请人 TTP GROUP PLC 发明人 VICTOR CAREY HUMBERSTONE;ANDREW JONATHAN SANT;DAVID MARK BLAKEY;PETER JOHN TAYLOR;RICHARD WILHELM JANSE VAN RENSBURG
分类号 B41J2/02;B05B5/025;B05B17/06;B41J2/025;G03G9/16;G03G15/05;(IPC1-7):B05B17/06 主分类号 B41J2/02
代理机构 代理人
主权项
地址