发明名称 |
Apparatus and method for supplying material to a substrate |
摘要 |
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申请公布号 |
AU702529(B2) |
申请公布日期 |
1999.02.25 |
申请号 |
AU19960064648 |
申请日期 |
1996.07.11 |
申请人 |
TTP GROUP PLC |
发明人 |
VICTOR CAREY HUMBERSTONE;ANDREW JONATHAN SANT;DAVID MARK BLAKEY;PETER JOHN TAYLOR;RICHARD WILHELM JANSE VAN RENSBURG |
分类号 |
B41J2/02;B05B5/025;B05B17/06;B41J2/025;G03G9/16;G03G15/05;(IPC1-7):B05B17/06 |
主分类号 |
B41J2/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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