发明名称 PROCESS FOR PRODUCING TRENCH INSULATION IN A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0855088(B1) 申请公布日期 1999.02.24
申请号 EP19960933442 申请日期 1996.10.02
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;MUTH, WERNER 发明人 MUTH, WERNER
分类号 H01L21/762;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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