发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCING TRENCH INSULATION IN A SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0855088(B1) |
申请公布日期 |
1999.02.24 |
申请号 |
EP19960933442 |
申请日期 |
1996.10.02 |
申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;MUTH, WERNER |
发明人 |
MUTH, WERNER |
分类号 |
H01L21/762;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/762 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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