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发明名称
摘要
申请公布号 JP2861927(B2) 申请公布日期 1999.02.24
申请号 JP19960097987 申请日期 1996.04.19
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 OSHIDA YOSHITADA;TANAKA MINORU;TANIMOTO TETSUZO
分类号 G01B11/02;G01B11/26;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
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