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发明名称
摘要
申请公布号 JP2861107(B2) 申请公布日期 1999.02.24
申请号 JP19890244174 申请日期 1989.09.19
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 MIZUTA TAKAYUKI
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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