| 发明名称 |
GRIPPERS FOR DISC-SHAPED ARTICLES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0724774(B1) |
申请公布日期 |
1999.02.24 |
| 申请号 |
EP19940929407 |
申请日期 |
1994.10.20 |
| 申请人 |
SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG AG |
发明人 |
SUMNITSCH, FRANZ |
| 分类号 |
H01L21/677;B25J15/02;B25J15/08;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/68;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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