| 发明名称 |
SINGLE WAFER TYPE MAGNETRON SPUTTERING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1150250(A) |
申请公布日期 |
1999.02.23 |
| 申请号 |
JP19970203348 |
申请日期 |
1997.07.29 |
| 申请人 |
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD;SONY DISC TECHNOL:KK |
发明人 |
IKEDA JIRO;KINOKIRI KYOJI |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/56;G11B5/85;G11B5/851;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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