| 发明名称 |
ORGANIC COMPOUND VESSEL, ORGANIC VAPOR DEPOSITING SOURCE AND VACUUM DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1150233(A) |
申请公布日期 |
1999.02.23 |
| 申请号 |
JP19970218170 |
申请日期 |
1997.07.29 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
NEGISHI TOSHIO;KIKUCHI HIROSHI |
| 分类号 |
C23C14/12;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/12 |
主分类号 |
C23C14/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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