| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILM AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1150259(A) |
申请公布日期 |
1999.02.23 |
| 申请号 |
JP19970204627 |
申请日期 |
1997.07.30 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TAKAHASHI KIYOSHI |
| 分类号 |
C23C16/50;G11B5/84;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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