发明名称 Semiconductor memory device and method of manufacturing same
摘要
申请公布号 EP0631326(B1) 申请公布日期 1999.02.24
申请号 EP19940107261 申请日期 1994.05.10
申请人 ZAIDAN HOJIN HANDOTAI KENKYU SHINKOKAI 发明人 NISHIZAWA, JUN-ICHI
分类号 H01L21/329;H01L29/739;H01L29/861;(IPC1-7):H01L29/86;H01L29/72;H01L21/331 主分类号 H01L21/329
代理机构 代理人
主权项
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