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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR COATING
摘要
申请公布号 KR0158211(B1) 申请公布日期 1999.02.18
申请号 KR19910015595 申请日期 1991.09.06
申请人 TOKYO ELECTRON KYUSHU LIMITED;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KONISHI, NOBUO;TAKAMORI, HIDEYAKI;AKIMOTO, MASAMI;TAKEYAMA, KIYOHISA
分类号 G03F7/16;B05C11/08;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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