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发明名称 ION IMPLANTATION SYSTEM
摘要
申请公布号 KR0158234(B1) 申请公布日期 1999.02.18
申请号 KR19930003003 申请日期 1993.03.02
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 TANAKA, NAOHITO;TAKAYAMA, NAOKI
分类号 H01J27/08;H01J37/08;H01J37/317;H01J49/12;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
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