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发明名称 GASERHITZER FÜR PROZESSGAS
摘要
申请公布号 DE69322975(D1) 申请公布日期 1999.02.18
申请号 DE19936022975 申请日期 1993.11.03
申请人 WATKINS-JOHNSON CO., PALO ALTO, CALIF., US 发明人 COLLINS, CRAIG C., SANTA CRUZ, CA 95060, US;AHLSTROM, ERIC, A., SANTA CRUZ, CA 95060, US
分类号 B01J19/00;F24H3/04;H01L21/205;(IPC1-7):F24H1/10 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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