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发明名称 SAMPLE TREATING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0174814(B1) 申请公布日期 1999.02.18
申请号 KR19900003031 申请日期 1990.03.08
申请人 HITACHI LTD. 发明人 FUJIMOTO, KOTARO;TANAKA, YOSHIE;KAWAHARA, HIRONOBU;SATO, YOSHIAKI
分类号 H01L21/02;H01L21/306;H01L21/3213;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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