发明名称 Beschichtungsanlage mittels Kathodenzerstäubung und Methode zur Steuerung derselben
摘要
申请公布号 DE69226725(T2) 申请公布日期 1999.02.18
申请号 DE19926026725T 申请日期 1992.05.28
申请人 KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.), KOBE, JP 发明人 MUNEMASA, JUN, C/O KOBE STEEL, LTD., KOBE-SHI, HYOGO 651, JP;KUMAKIRI, TADASHI, C/O KOBE STEEL, LTD., KOBE-SHI, HYOGO 651, JP;TANAKA, TATSUYA, C/O KOBE STEEL, LTD., KOBE-SHI, HYOGO 651, JP
分类号 C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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