发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Halbleitersubstrats
摘要
申请公布号 DE4404257(C2) 申请公布日期 1999.02.18
申请号 DE19944404257 申请日期 1994.02.10
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ARIMOTO, SATOSHI, ITAMI, HYOGO, JP;HAYAFUJI, NORIO, ITAMI, HYOGO, JP;DEGUCHI, MIKIO, ITAMI, HYOGO, JP;HAMAMOTO, SATOSHI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/208;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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