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发明名称 CHIP SCENT CRITICAL DIMENSION MARK PATTERN
摘要
申请公布号 KR0137621(Y1) 申请公布日期 1999.02.18
申请号 KR19960003251U 申请日期 1996.02.27
申请人 KOREA ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 YUN, INN-SOO
分类号 H01L23/544;(IPC1-7):H01L23/544 主分类号 H01L23/544
代理机构 代理人
主权项
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