Verfahren zur Begrenzung des Haftens eines Körpers am Träger bei einer Abscheidungs-Behandlung,申请号DE19946015729-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Begrenzung des Haftens eines Körpers am Träger bei einer Abscheidungs-Behandlung
摘要
申请公布号	DE69415729(D1)	申请公布日期	1999.02.18
申请号	DE19946015729	申请日期	1994.06.21
申请人	APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US	发明人	ROBERTSON, ROBERT, PALO ALTO, CA 94301, US;KOLLRACK, MARC MICHAEL, ALAMEDA, CA 94501, US;LEE, ANGELA T., SAN JOSE, CA 95129, US;LAW, KAM, UNION CITY, CA 94587, US;MAYDAN, DAN, LOS ALTOS HILLS, CA 94022, US
分类号	C23C16/50;C23C16/509;C23C16/56;(IPC1-7):C23C16/44;B05D3/04;B05D3/06	主分类号	C23C16/50
代理机构		代理人
主权项
地址