MAGNETRON SPUTTER COATING METHOD AND APPARATUS WITH ROTATING MAGNET CATHODE,申请号KR19930071264-传众专利搜索

发明名称	MAGNETRON SPUTTER COATING METHOD AND APPARATUS WITH ROTATING MAGNET CATHODE
摘要
申请公布号	KR0178555(B1)	申请公布日期	1999.02.18
申请号	KR19930071264	申请日期	1993.04.29
申请人	MATERIALS RESEARCH CORPORATION	发明人	HURWITT, STEVEN D.;HIERONYMI, ROBERT;WAGNER, ISRAEL
分类号	C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
地址