发明名称 Piezoelektrischer Resonator, Verfahren zur Herstellung des Resonators sowie dessen Einsatz als Sensorelement zum Erfassen der Konzentration eines in einem Fluid enthaltenen Stoffes und/oder der Bestimmung physikalischer Eigenschaften des Fluids
摘要
申请公布号 DE19734706(A1) 申请公布日期 1999.02.18
申请号 DE19971034706 申请日期 1997.08.11
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 80636 MUENCHEN, DE 发明人 KOESLINGER, C., DIPL.-PHYS., 81247 MUENCHEN, DE;NITSCH, A., DIPL.-ING., 86923 FINNING, DE;UTTENTHALER, E., DIPL.-PHYS., 80634 MUENCHEN, DE;HAERLE, TH., DIPL.-ING., 86391 STADTBERGEN, DE
分类号 B01L3/00;G01N11/16;G01N27/00;H03H3/02;H03H9/19;(IPC1-7):H03H9/15;H01L41/04;H01L41/22;G01N27/12;G01N27/413;G01N27/327;G01N33/53;G01N9/00;G01N9/36;G01N11/00;B06B1/06 主分类号 B01L3/00
代理机构 代理人
主权项
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