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发明名称 Apparat zur Prüfung von unverpackten Halbleiterplatten
摘要
申请公布号 DE69226859(T2) 申请公布日期 1999.02.18
申请号 DE19926026859T 申请日期 1992.12.21
申请人 GEC-MARCONI LTD., STANMORE, GB 发明人 PEDDER, DAVID JOHN, LONG COMPTON, WARWICKSHIRE, CV36 5LB, GB
分类号 G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
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