| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT WITH NEEDLE VALVE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0136377(Y1) |
申请公布日期 |
1999.02.18 |
| 申请号 |
KR19960003233U |
申请日期 |
1996.02.27 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
PARK, JAE-JIN |
| 分类号 |
H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
H01L29/84 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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