| 发明名称 |
MECHANISM AND METHOD FOR MECHANICALLY REMOVING A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0180805(B1) |
申请公布日期 |
1999.02.18 |
| 申请号 |
KR19950000033 |
申请日期 |
1995.01.04 |
| 申请人 |
ANELVA CORP. |
发明人 |
OSAADA, TOMOAKI;SHIRAI, YASUYUKI |
| 分类号 |
C23C16/458;H01L21/683;(IPC1-7):C23C14/50 |
主分类号 |
C23C16/458 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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