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经营范围
发明名称
Verfahren zur lokalen Oxidation von Silizium
摘要
申请公布号
DE69032878(D1)
申请公布日期
1999.02.18
申请号
DE19906032878
申请日期
1990.10.26
申请人
ADVANCED MICRO DEVICES, INC., SUNNYVALE, CALIF., US
发明人
LIU, YOWJUANG, SAN JOSE, CA, US;LONGCOR, STEVEN W., MOUNTAIN VIEW, CA, US;LIEN, JIH-CHANG, SAN JOSE, CA, US
分类号
H01L21/76;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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