| 发明名称 |
ROTATING CYLINDRICAL MAGNETRON STRUCTURE FOR LARGE AREA COATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0173132(B1) |
申请公布日期 |
1999.02.18 |
| 申请号 |
KR19920071088 |
申请日期 |
1992.05.07 |
| 申请人 |
THE BOC GROUP INC. |
发明人 |
BOOZENNY, ALEX;HOOG, JOSEF T. |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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