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<p>Verfahren und Vorrichtung zur Lageerkennung und/oder Koplanaritäts- und/oder Teilungsprüfung von Anschlüssen (2) von Bauelementen (3). Vor dem Aufsetzen von Bauelementen (3) in Bestückautomaten müssen die Anschlüsse (2) auf gleiche Höhenposition (Koplanarität) und/oder auf ausreichende Abstände untereinander (Teilung) überprüft werden. Bei einem bekannten Verfahren werden die Anschlüsse (2) nacheinander auf eine ortsauflösende Detektoreinrichtung (5) abgebildet, dabei wird allerdings die Detektoreinrichtung (5) durch direkte Reflexe der Lichtquelle (1) überstrahlt. Durch Nutzung von polarisiertem Licht zum Beleuchten der Anschlüsse (2) und einem optischen Analysator (7) im Abbildungsstrahlengang werden die direkten Reflexe unterdrückt und nur die diffusen Reflexe führen zur Abbildung.</p> |
