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发明名称
APPARATUS FOR INJECTING RIGID-LIQUID
摘要
申请公布号
KR0130390(Y1)
申请公布日期
1999.02.18
申请号
KR19950009688U
申请日期
1995.05.09
申请人
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD.
发明人
YU, SEUNG-SUK
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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