发明名称 VERFAHREN ZUR MESSUNG DER TIEFE EINER MIKROSTRUKTUR
摘要
申请公布号 AT176526(T) 申请公布日期 1999.02.15
申请号 AT19950921698T 申请日期 1995.06.10
申请人 LEONHARD KURZ GMBH & CO. 发明人 WILD, HEINRICH
分类号 G01B11/22;(IPC1-7):G01B11/22 主分类号 G01B11/22
代理机构 代理人
主权项
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