发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1140805(A) |
申请公布日期 |
1999.02.12 |
申请号 |
JP19970191239 |
申请日期 |
1997.07.16 |
申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
SUZUKI KOSUKE;KARAKAWA KATSUYUKI |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/336;H01L21/60;H01L21/768;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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