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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1140667(A) 申请公布日期 1999.02.12
申请号 JP19970189998 申请日期 1997.07.15
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KITAGAWA KATSUHIKO
分类号 H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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