发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1140562(A) 申请公布日期 1999.02.12
申请号 JP19970195732 申请日期 1997.07.22
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 WADA OSAMU
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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