| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD OF TEMPERATURE MEASUREMENT AND WAFER HEAT TREATMENT EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1140510(A) |
申请公布日期 |
1999.02.12 |
| 申请号 |
JP19970191267 |
申请日期 |
1997.07.16 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
SASAKI KIYOHIRO |
| 分类号 |
G01J5/00;G01J5/60;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26 |
主分类号 |
G01J5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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