| 发明名称 |
THREE-DIMENSIONAL FINE MOVEMENT TABLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1138164(A) |
申请公布日期 |
1999.02.12 |
| 申请号 |
JP19970195857 |
申请日期 |
1997.07.22 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
TANIMURA YOSHIHISA;GONTA SATOSHI;KUROSAWA TOMIZO |
| 分类号 |
G12B5/00;B23Q3/02;F16F15/02;(IPC1-7):G12B5/00 |
主分类号 |
G12B5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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