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发明名称
INSPECTION DEVICE FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND ITS DATA SETTING METHOD
摘要
申请公布号
JPH1138096(A)
申请公布日期
1999.02.12
申请号
JP19970197406
申请日期
1997.07.23
申请人
SHARP CORP
发明人
ISHIDA AKITO
分类号
G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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