| 发明名称 |
COMPOSITION FOR FORMING ANTIREFLECTION FILM AND FORMATION OF RESIST PATTERN USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1138622(A) |
申请公布日期 |
1999.02.12 |
| 申请号 |
JP19970205480 |
申请日期 |
1997.07.16 |
| 申请人 |
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD |
发明人 |
IGUCHI ETSUKO;KOBAYASHI MASAICHI;KOMANO HIROSHI;NAKAYAMA TOSHIMASA |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/038;G03F7/09;G03F7/11;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/038 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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