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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1140555(A) 申请公布日期 1999.02.12
申请号 JP19970191388 申请日期 1997.07.16
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KITAMURA AKIO
分类号 H01L21/316;H01L21/336;H01L21/76;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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