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发明名称 OPTICAL CANTILEVER AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1138022(A) 申请公布日期 1999.02.12
申请号 JP19970194211 申请日期 1997.07.18
申请人 MITSUTOYO CORP 发明人 NISHIOKA YASUSHI
分类号 G01B11/30;G01N37/00;G01Q20/02;G01Q60/24;G01Q60/38;G01Q70/16;H01L29/84;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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