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发明名称 INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1137719(A) 申请公布日期 1999.02.12
申请号 JP19970189988 申请日期 1997.07.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HAMA SOICHI;OZAKI KAZUYUKI;WAKANA SHINICHI
分类号 G01B11/00;G01N21/88;G01N21/956;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q90/00;G01R1/06;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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