发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1140668(A) 申请公布日期 1999.02.12
申请号 JP19970194395 申请日期 1997.07.18
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KITAGAWA KATSUHIKO
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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