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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH1140676(A) 申请公布日期 1999.02.12
申请号 JP19970196278 申请日期 1997.07.23
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICROCOMPUT SYST LTD 发明人 HISHIKI MASANOBU;TADAKUMA KUNIAKI;IGUCHI HIDESATO
分类号 H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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