| 发明名称 |
MANUFACTURE OF EPITAXIAL WAFER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1140506(A) |
申请公布日期 |
1999.02.12 |
| 申请号 |
JP19970209712 |
申请日期 |
1997.07.18 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
HABUKA HITOSHI;OTSUKA TORU;KATAYAMA MASAYASU |
| 分类号 |
C30B25/20;C30B29/06;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
