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发明名称
LIQUID HEATING METHOD
摘要
申请公布号
JPH1137558(A)
申请公布日期
1999.02.12
申请号
JP19970195824
申请日期
1997.07.22
申请人
KOMATSU ELECTRON KK
发明人
MIYAZAKI HIROAKI;ITO KATSUMI
分类号
F24H1/10;H01L21/304;(IPC1-7):F24H1/10
主分类号
F24H1/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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