| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Koronabehandlung der Oberfläche eines Substrats, mit einer Elektrode (3), die innerhalb eines benachbart zum Substrat angeordneten Gehäuses (1) untergebracht ist, wobei Mittel vorgesehen sind, um dem die Elektrode (3) aufnehmenden Innenraum des Gehäuses (1) ein Trägergas zuzuführen, und ist dadurch gekennzeichnet, daß die im Gehäuse (1) untergebrachte Elektrode (2) aus keramischem Material besteht, daß das Gehäuse (1) mit Ausnehmungen (2) für den Durchfluß eines Kühlmediums versehen ist und daß die Elektrode (3) mit einer Temperatur von mehr als 150 °C betrieben wird. Durch diese Ausbildung wird erreicht, daß die Vorrichtung wegen der im Gehäuse untergebrachten Kühlung bei Vermeidung der Bildung von schädlichen Stoffen, z.B. Ozon, eine minimale Baugröße aufweist und daß das Bedienungspersonal vor Verbrennungen geschützt ist. Der Wegfall der Luftkühlung läßt die Zufuhr eines Trägergases zu.</p> |
