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<p>In einem Verfahren zur Herstellung von MOS-Schaltungen wird eine Prozeßvereinfachung eines PBL (Polysilicon-Buffered-LOCOS)-Prozesses erreicht, indem das beim PBL-Prozeß abgeschiedene Padoxid (3) als Gateoxid verwendet wird und darüber hinaus auch noch die beim PBL-Prozeß abgeschiedene Polysiliziumschicht (4) als Teil des Gate-Polysiliziums verwendet wird.</p> |
