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发明名称
Substrateneinschleusenvorrichtung
摘要
申请公布号
DE69504629(T2)
申请公布日期
1999.02.11
申请号
DE19956004629T
申请日期
1995.12.08
申请人
OXFORD PLASMA TECHNOLOGY LTD., WITNEY, OXON, GB
发明人
JONES, PHILLIP ROBERT, LANGFORD, BRISTOL, BS18 7HB, GB
分类号
H01L21/677;(IPC1-7):H01J37/20;H01L21/00
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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